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掃描電子顯微鏡SEM檢測
掃描電子顯微鏡SEM檢測
  • 掃描電子顯微鏡SEM檢測

掃描電子顯微鏡SEM檢測

產品報價:400元

更新時間:2023/7/23 18:54:05

地:安徽

牌:科研測試站

號:掃描電子顯微鏡SEM

廠商性質:

公司名稱: 合肥佰艾巨測科學技術有限責任公司

產品關鍵詞: 檢測測試   顯微鏡(SEM)   掃描電子   真空系統  

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李博信 : (17364312735) (021-54832788)

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一、掃描電子顯微鏡SEM檢測介紹

掃描電子顯微鏡(SEM)是利用二次電子和背散射電子信號,通過真空系統、電子束系統和成像系統獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等的一種分析儀器,隨著科學技術水平的提高,其放大倍數可達幾十萬倍,分辨率可達納米級別,是形貌和成分分析領域極其重要的一種工具。

是介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質間的相互作用, 來激發各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm;放大倍數可以達到30萬倍及以上連續可調;并且景深大, 視野大, 成像立體效果好。此外, 掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結合, 可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質微區成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有普遍應用。

二、掃描電子顯微鏡SEM檢測項目:

1:形貌、能譜點掃、能譜線掃、能譜面掃(mapping)

2:儀器放大倍數范圍是100倍-20W倍,常規樣品可以拍攝到8-10W倍,導電性不好或磁性樣品大于8W倍可能會不清晰。
3:能譜:SEM能譜一般只能測C(含C)以后的元素,(B元素也能做,但是不準,不建議做)如果需要打能譜,需要備注好測試位置以及能譜打哪些元素,需要注意的是制樣時待測元素不能與基底成分有重合,如果要測C元素,樣品不要分散到含C的基底上,可以分散到硅片,錫紙上,如果要測Si元素,注意不要制樣到硅片上。

 三、掃描電子顯微鏡SEM檢測要求

(1)要求樣品無毒、干燥無污染、熱穩定性好、耐電子束轟擊。保護測試人員安全;

(2)樣品必須干燥,不含水分或有機揮發物;

(3)樣品必須具有穩定的化學性質和物理性質,在高能電子束的輻照下保持成分穩定和形態不變;

(4)樣品觀察面應清潔,無污染物,同時觀察面應盡量平整;

(5)樣品必須具有良好的導電性和導熱性,在電子束轟擊下不易被分解,熱穩定性高;

(6)磁性樣品要預先去磁,以免觀察時電子束受到磁場的影響;

(7)樣品可以是粉末、薄膜、塊體,無論是表面還是新斷開的斷口或斷面,一般不需要進行處理,以保持其原始的結構狀態。

樣品量的要求:粉末、液體、薄膜、塊體均可測試,粉體樣品大概10mg,塊體樣品要求長寬≤25px,厚度≤25px,樣品質量不超過200g;混凝土,珊瑚沙,氣凝膠等需要抽真空時間非常長的樣品尺寸請盡可能直徑≤5mm,厚度≤5mm;

(8)塊體:直接用導電膠粘在樣品臺上測試,若需拍塊體/薄膜截面,需明確截面制備方法,一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式;薄膜或塊狀標記好要測試的面(正面和反面),制樣方式有特殊需求請說明    

(9)液體:用移液槍取樣品超聲后的懸濁液,滴一滴于硅片或錫紙上,自然風干/紅外燈烘干,烘干后將硅片或錫紙用導電膠粘在樣品臺上測試;液體常規滴到硅片上自然晾干或烘干測試(樣品不能加熱請提前說明)

(10)粉末:(1)直接用導電膠粘在樣品臺上測試(盡量薄且均勻的將樣品粘在導電膠上,薄鋪一層。);(2)乙醇分散制樣:取少量樣品于離心管中,加入 一定量無水乙醇(或水),室溫超聲 5-10min,隨后采用 (2)中液體的制樣方式制樣測試。(如需分散測試請提前說明)

四、掃描電子顯微鏡SEM檢測注意事項:

非磁、磁性(弱磁、強磁)定義:含鐵、鈷、鎳、錳等磁性元素均為磁性樣品,吸鐵石能吸起來為強磁,吸鐵石吸不起來為弱磁。備注:磁性分硬磁和軟磁,有些材料對外不表現磁性,但加磁場后容易磁化,受熱后磁性增強。

電鏡拍攝由于其特殊性,實驗室老師會盡力拍攝,但沒法承若一定會拍到您預期效果的圖片,尤其磁性樣品或者導電性差樣品,請理解!實驗室常規測試儀器放大倍數可達5-10萬倍,但是實際效果跟樣品情況關系密切,沒法承若一定拍的到效果好的圖片!

 五、掃描電子顯微鏡SEM檢測常見問題

1.SEM為什么需要噴金,噴金能達到什么目的,對樣品有什么影響?

噴金工序一般適用于樣品不導電或者說是導電性不好的時候對樣品表面濺射一層薄薄的金層,噴金時間因儀器差別而有所不同。噴金會直觀的目的就是圖片質量上去了,倍數能變好了,其原理是減弱了不導電或者導電性弱的樣品表面的荷電效應,主要的影響是較高倍數(20萬倍)下能看到些樣品表面的金顆粒,EDS能譜中有明顯的金峰存在。

2.SEM圖片出現異常反差“一部分異常亮,一部分異常暗”,“圖像畸變”,“圖像漂移”,“圖片不清晰”等問題怎么解釋?

上述問題也就是荷電效應造成的,電荷在樣品表面累積產生靜電場,干擾入射電子的發射,從而對圖片質量造成影響。主要解決辦法:①噴金、噴鉑、噴銀或者噴碳,②縮小樣品尺寸,減少接觸電阻




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